バリ取り工程で出たコンタミを除去
2012年5月18日、「TOTALで以前より洗浄能力は格段にUP(品質OKレベル)しました。先ずは御社のご協力に感謝します。」とのメールが入りました。技術者として嬉しいことです。
4月6日、プレス打ち抜き加工品のコンタミ除去に対しご相談が有りました。問題はバリ取り工程で出たコンタミが製品に強く付着しているもので、洗浄除去装置に通しても落ちないものが有るとのことでした。
現状を把握する為、数回のメール交換。中性洗剤を使用しているとのことだったので小型のOKノズルに決定。12日、OKE-MB07FJ(20L/min)の注文が有りました。
ウエハーの超鏡面研磨の時の効果と同じようです。
今回の洗浄もシャワーリング、ブラッシングによってマイクロバブルが破裂し、その破壊力効果によって剥離洗浄ができているようです。
ナノ・マイクロバブル発生の方法は、500Lタンク内で水中ポンプを使用しています。写真程度のポンプで十分です。
ナノ・マイクロバブル発生の方法は、500Lタンク内で水中ポンプを使用しています。写真程度のポンプで十分です。
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